変位センサ |
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LXA |
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高感度リニアイメージセンサと電子シャッター（自動調光制御）の採用で超高精度測定を実現！ |
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特長
- 高感度リニアイメージセンサ採用により、リニアリティ±0.1% of FSを実現。
- 電子シャッター（自動調光制御）の採用により、ワークの色や光沢、材質の影響を少なくしました。
- サンプリング周期100μsの高速変位センサ。
- 独立した5系統コンパレータ出力を装備。
- コントローラとモニターを一体化したアンプで操作性をUP。
- シンプルボタン・カラー液晶採用で簡単操作を徹底追及。
- 8チャンネルのバンク機能付。
- 保護構造IP67のセンサヘッド。
使用例
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| ●振れ計測＜スリッターの振れ＞ | ●偏芯計測＜ローラの偏芯＞ |
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●高さ計測＜プルトップの浮き＞ |
●反り計測＜基板の反り＞ |
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●厚み計測＜ボード（建材）の厚み＞ |
●厚み計測＜ウエハの厚み＞ |
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注意事項
■レーザに関する注意事項
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この商品は可視光レーザビームを放射しており、JIS C6802/IECレーザ安全規格のクラス1または2に相当します。 |
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●超高精度(クラス1) |
●高精度(クラス2) |
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仕様
●センサヘッド
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種類 |
超高精度 |
高精度 |
高精度 |
高精度 |
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形式 |
HXA-25KL |
HXA-30K |
HXA-85K |
HXA-350K |
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品コード |
VHXA001 |
VHXA002 |
VHXA003 |
VHXA004 |
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光学方式 |
正反射 |
拡散反射 |
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測定範囲 |
25mm±1mm |
30mm±5mm |
85mm±20mm |
350mm±100mm |
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光源 |
赤色半導体レーザ 650nm |
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レーザクラス |
IEC/JISクラス1 |
IEC/JISクラス2 |
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最大出力 |
390μW 1mW |
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レーザ寿命 |
約50,000時間(40℃にて) |
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スポット径※1 |
約25×35μm |
約30×100μm |
約70×290μm |
約300×700μm |
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直線性※2 |
±0.1%F.S |
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分解能※3 |
0.1μm |
1μm |
3μm |
40μm |
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温度特性 |
±0.01%FS/℃ |
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表示灯 |
レーザ放射表示灯 |
緑LED(レーザ放射中に点灯) |
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測定範囲表示灯 |
赤LED(近距離側)、橙LED(測定中心)、緑LED(遠距離側) |
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接続 |
コネクタ式 |
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使用周囲照度 |
白熱ランプ：3,000lx以下、太陽光：10,000lx以下 |
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使用周囲温度・湿度 |
-10～+45℃(保存時-20～+60℃)、35～85%/RH(保存時35～85%/RH)。但し氷結・結露しないこと |
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耐振動 |
複振幅1.5mm、10～55Hz、X・Y・Z各方向 各2時間 |
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耐衝撃 |
498m/s2、X・Y・Z各方向 各3回 |
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耐電圧 |
AC1000V 1分間 |
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絶縁抵抗 |
20MΩ(DC500V)以上 |
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保護構造 |
IP67(IEC規格) |
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ケース材質 |
本体：アルミダイカスト、窓：ガラス |
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質量 |
250g(ケーブル含む) |
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ケーブル延長 |
延長ケーブル(別売)にて最大10mまで可 |
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付属品 |
取付ネジ(M4×35) |
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※1．測定中心にて中心強度1/e2(13.5%)で定義しています。
規定のスポットサイズ以外にも漏れ光があり、検出距離付近の周囲に反射率の高いものがある場合、その影響を受ける場合があります。
※2．平均回数256回(専用アンプユニットにて)、白セラミック測定時の値です(XHA-25KLはガラス測定時)。
※3．平均回数256回(専用アンプユニットにて)、測定中心での代表的な値です。対象物により変化する場合があります。
●アンプユニット
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種類 |
超高精度センサヘッド |
高精度センサヘッド |
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形式 |
LXA-DCL |
LXA-DC |
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品コード |
VLXA001 |
VLXA002 |
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電源電圧 |
DC12～24V ±10% |
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消費電流 |
270mA DC24V時(センサヘッド2台、アナログ出力電流含む) |
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センサヘッド接続台数 |
最大2台 |
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サンプリング周期 |
100μs |
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温度特性 |
±0.01% F.S/℃ |
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制御出力 |
NPNオープンコレクタ出力 100mA DC24V以下(残留電圧 1.8V以下)。 |
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アナログ出力 |
電圧出力：±5V/F.S(出力インピーダンス100Ω、分解能1mV) |
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アラーム出力 |
NPNオープンコレクタ出力 100mA DC24V以下(残留電圧 1.8V以下) 。ヘッドが測定不能状態の時ON |
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バンク入力 |
GNDに接続でON。8バンク（測定条件設定8パターン登録・切換え可能） |
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ホールド入力 |
GNDに接続でON。レーザOFFもしくは測定値ホールド(メニューにて設定) |
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ゼロリセット入力 |
GNDに接続でON。ヘッドA測定値/ヘッドB測定値/演算値のゼロリセットが可能 |
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副機能 |
平均回数設定、フィルタ設定(周波数設定)、演算機能設定、ホールド設定、アラーム時測定値設定、ヒステリスシス設定、アナログ出力設定、センサヘッド感度設定、タイマ設定、メモリ設定、バンク設定、オートゼロリセット |
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回路安定時間 |
5min以下 |
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表示 |
LCDディスプレイ |
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接続 |
端子台式 |
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使用周囲温度・湿度 |
-10～+45℃(保存時-20～+60℃)、35～85%/RH(保存時35～85%/RH)。但し氷結・結露しないこと |
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耐振動 |
複振幅1.5mm、10～55Hz、X・Y・Z各方向 各2時間 |
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耐衝撃 |
196m/s2、X・Y・Z各方向 各3回 |
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耐電圧 |
AC1000V 1分間 |
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絶縁抵抗 |
20MΩ(DC500V)以上 |
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保護構造 |
IP20(IEC規格) |
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ケース材質 |
本体：ポリカーボネート 端子台：ナイロン66 |
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質量 |
240g(端子台含む) |
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付属品 |
端子台 |
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外形図
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センサヘッド |
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●超高精度 |
●高精度 |
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※1 HXA-85Kは42.3、HXA-350Kは50となります。 |
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アンプユニット |
延長ケーブル(別売) |
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入・出力回路
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●入力回路【バンク入力、ホールド入力、ゼロリセット入力】 |
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●出力回路【制御出力、アラーム出力】 |
●出力回路【アナログ出力(A/B)】 |
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