変位センサ/LXA

光電・レーザーセンサ 生産・販売終了 CE

高感度リニアイメージセンサと電子シャッター(自動調光制御)の採用で超高精度測定を実現!

  • 商品概要
  • 用途事例
  • 形式一覧
  • 製品仕様
  • 外形図
  • 入出力回路
  • オプション
  • 各種ダウンロード
  • 代替品

商品概要

高感度リニアイメージセンサ採用

リニアリティー±0.1%F.Sを実現しました。

電子シャッター(自動調光制御)採用

ワークの色や光沢、材質の影響を少なくしました。

シンプルボタン・カラー液晶採用

簡単操作を徹底追求しました。

操作性をUP

アンプユニットは、コントローラとモニターを一体化しているので操作性も抜群です。

サンプリング周期100μsの高速変位センサ

独立した5系統コンパレータ出力を装備

8チャネルのバンク機能搭載

保護構造IP67のセンサヘッド

用途事例

スリッターの振れ計測

ローラの偏心計測

プルトップの高さ、浮き計測

基板の反り計測

建材ボードの厚み計測

ウェハーの厚み計測

形式 / 品コード

センサヘッド
型式 品コード 光学方式 分解能 測定範囲 スポット径
HXA-25KL VHXA001 正反射 0.1μm 25mm±1mm 約25×35μm
HXA-30K VHXA002 拡散反射 1μm 30mm±5mm 約30×100μm
HXA-85K VHXA003 3μm 85mm±20mm 約70×290μm
HXA-350K VHXA004 40μm 350mm±100mm 約300×700μm
アンプユニット
型式 品コード 種類
LXA-DCL VLXA001 超高精度センサヘッド(HXA-25KL)用アンプユニット
LXA-DC VLXA002 高精度センサヘッド(HXA-30K/85K/350K)用アンプユニット

製品仕様

●センサヘッド
種類 超高精度 高精度 高精度 高精度
短距離タイプ 中距離タイプ 長距離タイプ
形式 HXA-25KL HXA-30K HXA-85K HXA-350K
品コード VHXA001 VHXA002 VHXA003 VHXA004
光学方式 正反射 拡散反射
測定範囲 25mm±1mm 30mm±5mm 85mm±20mm 350mm±100mm
光源 赤色半導体レーザ 650nm
レーザクラス IEC/JISクラス1 IEC/JISクラス2
最大出力 390μW 1mW
レーザ寿命 約50,000時間(40℃にて)
スポット径※1 約25×35μm 約30×100μm 約70×290μm 約300×700μm
直線性※2 ±0.1%F.S
分解能※3 0.1μm 1μm 3μm 40μm
温度特性 ±0.01%FS/℃
表示灯 レーザ放射表示灯 緑LED(レーザ放射中に点灯)
測定範囲表示灯 赤LED(近距離側)、橙LED(測定中心)、緑LED(遠距離側)
赤緑交互点滅(測定範囲外及び測定不能時)
接続 コネクタ式
使用周囲照度 白熱ランプ:3,000lx以下、太陽光:10,000lx以下
使用周囲温度・湿度 -10~+45℃(保存時-20~+60℃)、35~85%/RH(保存時35~85%/RH)。但し氷結・結露しないこと
耐振動 複振幅1.5mm、10~55Hz、X・Y・Z各方向 各2時間
耐衝撃 498m/s2、X・Y・Z各方向 各3回
耐電圧 AC1000V 1分間
絶縁抵抗 20MΩ(DC500V)以上
保護構造 IP67(IEC規格)
ケース材質 本体:アルミダイカスト、窓:ガラス
質量 250g(ケーブル含む)
ケーブル延長 延長ケーブル(別売)にて最大10mまで可
付属品 取付ネジ(M4×35)
※1.測定中心にて中心強度1/e2(13.5%)で定義しています。
規定のスポットサイズ以外にも漏れ光があり、検出距離付近の周囲に反射率の高いものがある場合、その影響を受ける場合があります。
※2.平均回数256回(専用アンプユニットにて)、白セラミック測定時の値です(XHA-25KLはガラス測定時)。
※3.平均回数256回(専用アンプユニットにて)、測定中心での代表的な値です。対象物により変化する場合があります。

●アンプユニット
種類 超高精度センサヘッド 高精度センサヘッド
(HXA-25KL)用アンプユニット (HXA-30K/85K/350K)
  用アンプユニット
形式 LXA-DCL LXA-DC
品コード VLXA001 VLXA002
電源電圧 DC12~24V ±10%
消費電流 270mA DC24V時(センサヘッド2台、アナログ出力電流含む)
センサヘッド接続台数 最大2台
サンプリング周期 100μs
温度特性 ±0.01% F.S/℃
制御出力 NPNオープンコレクタ出力 100mA DC24V以下(残留電圧 1.8V以下)。
5出力(独立設定可)、ヒステリシス設定可。
アナログ出力 電圧出力:±5V/F.S(出力インピーダンス100Ω、分解能1mV)
電流出力:4~20mA/F.S( 荷インピーダンス300Ω以下、分解能1.5μA)
アラーム出力 NPNオープンコレクタ出力 100mA DC24V以下(残留電圧 1.8V以下) 。ヘッドが測定不能状態の時ON
バンク入力 GNDに接続でON。8バンク(測定条件設定8パターン登録・切換え可能)
ホールド入力 GNDに接続でON。レーザOFFもしくは測定値ホールド(メニューにて設定)
ゼロリセット入力 GNDに接続でON。ヘッドA測定値/ヘッドB測定値/演算値のゼロリセットが可能
副機能 平均回数設定、フィルタ設定(周波数設定)、演算機能設定、ホールド設定、アラーム時測定値設定、ヒステリスシス設定、アナログ出力設定、センサヘッド感度設定、タイマ設定、メモリ設定、バンク設定、オートゼロリセット
回路安定時間 5min以下
表示 LCDディスプレイ
接続 端子台式
使用周囲温度・湿度 -10~+45℃(保存時-20~+60℃)、35~85%/RH(保存時35~85%/RH)。但し氷結・結露しないこと
耐振動 複振幅1.5mm、10~55Hz、X・Y・Z各方向 各2時間
耐衝撃 196m/s2、X・Y・Z各方向 各3回
耐電圧 AC1000V 1分間
絶縁抵抗 20MΩ(DC500V)以上
保護構造 IP20(IEC規格)
ケース材質 本体:ポリカーボネート 端子台:ナイロン66
質量 240g(端子台含む)
付属品 端子台

アンプユニットの各部名称

アンプユニット操作部の機能

外形図


センサヘッドHXA-25KL

センサヘッドHXA-30K/85K/350K

※1 HXA-30Kの値です。HXA-85Kは42.3、HXA-350Kは50となります。
※2 HXA-30K/85Kの値です。HXA-350Kは27となります。

アンプユニット

入出力回路


【入力回路】バンク入力、ホールド入力、ゼロリセット入力

【出力回路】制御出力、アラーム出力

【出力回路】アナログ出力(A/B)

接続

特性データ(代表例)


オプション / アクセサリ

種類 形式 品コード ケーブル長
延長ケーブル IXA-CNC-02 VLXA001 2m

各種ダウンロード

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分類 ファイル名 ファイル容量 更新日 ダウンロード
カタログ LXA カタログ 2,553 kB 2017-06-28 ---
マニュアル LXA マニュアル 2,739 kB 2017-02-15 ---
2D CAD LXA(amplifier) 48 kB 2015-04-20 ---
2D CAD LXA(sensor) 20 kB 2015-04-20 ---

 

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