半導体ウエハ搬送工程の省人化と安全対策

6軸ロボット周辺にエリアを作成し、侵入検知を行う。

従来、半導体ウエハの「洗浄 → 乾燥 → 検査機への投入」工程は作業員が手作業で行っていました。
しかし、生産効率の向上と省人化を目的に、6軸ロボットによる自動搬送へ置き換えを実施しました。
この自動化により、作業効率は大幅に改善されましたが、ロボットが稼働するエリアを作業員が通過するタイミングで、衝突のリスクが懸念されました。
安全性を確保するためには、ロボット周辺での人の侵入を確実に検知する仕組みが必要でした。
そこで、ロボット周辺に「UAM-05LPA-T301」を設置し、検知したいエリアを設定することで、作業員の侵入をリアルタイムで検知できるようにしました。
さらに、UAMでは安全認証規格を取得しているため、安全カテゴリーの要件を満たし、 安心して運用できる環境を実現しました。