製品に関する規格・法律|認証規格|SEMIに関するE84規格について

SEMI Standardとは

エンハンストキャリア移載パラレルI/Oインタフェースの仕様、すなわち半導体製造設備の搬送機器における光通信機器に関する規定を言います。

北陽電機のパラレルデータ伝送装置

8bitパラレル光データ伝送装置は、SEMIスタンダ-ドE84に規定されるインターロックシーケンスの光PI/Oとして、多くの半導体製造ラインで採用されています。

ここでは、無人搬送台車(UTV、以下 Active と記す)と半導体製造装置(Equipment、以下 Passive と記す)間の通信を光PI/Oで行う場合の注意事項と解説を掲載しています。
SEMIスタンダ-ド E84を実装する際の設計補助資料として参考にしてください。

■使用上の注意事項

(1) 入出力の配線
SEMI E84では、Passive側ロードポートへの光PI/Oの取り付けは25ピンDサブコネクタを使用することが規定されています。(SEMI E84/6.4.1)
コネクタのピン割付は〈表-1〉の通りです。
製造装置コントローラ側の出力を光PI/O側の入力に、製造装置コントローラ側の入力には光PI/O側の出力を各々接続してください。

(2)"Reserved"の配線
SEMI E84では、25ピンDサブコネクタの10~12ピンが"Reserved"に割り当てられており、サプライヤはここを自由に使用することを禁止されていますが、その処理内容は具体的に記述されていません。

この部分の配線処理については、ユーザーまたは搬送機メーカーからの特別な指示がない限り、必ず〈表-1〉 の通りに配線処理を行ってください。

(3)モード設定入力線の処理
光PI/Oは、半二重双方向伝送方式を採用しており、送信待機モードと受信待機モードの2つの動作モードを持っています。

ユーザーまたは搬送機メーカーからの特別な指定がない場合は、通常、Active側の光PI/Oを送信待機モード(+VI N、POWERまたはOPEN)とし、Passive側の光PI/Oを受信待機モード(-VIN、POWER、COM)として使用してください(念のため、必ずユーザーまたは搬送機メーカーにご確認ください)。

【 表-1 SEMI E84に使用する25ピンDサブコネクタのピン割付と接続 】

E84
Symbol 名
Passive側
コネクタA
(メス)信号名
ピン
No.
光PI/O側
コネクタB(オス)
信号名
光PI/O側
コネクタB(オス)リード線色
備考
L_REQ OUT1 1 IN1  
U_REQ OUT2 2 IN2  
VA OUT3 3 IN3 For Interbay and Stocker
READY OUT4 4 IN4  
VS_0 OUT5 5 IN5 For Interbay and Stocker
VS_1 OUT6 6 IN6
HO_AVBL OUT7 7 IN7  
ES OUT8 8 IN8  
(NC)   9      
(Reserved) POWER 10 セレクト 通常Passiveはセレクトを制御
しないのでPOWER(+VIN)またはOPENとしてください(常時動作可能)※
POWER COM
(-VIN)
11 モード 通常Passiveは受信待機モードにするので、POWER COM(-VIN)としてください※
OPEN 12 GO 白/黒 GO出力を使用しない場合、必ずOPENとしてください※
(NC)   13      
VALID IN1 14 OUT1 茶/黒  
CS_0 IN2 15 OUT2 赤/黒  
CS_1 IN3 16 OUT3 橙/黒  
AM_AVBL IN4 17 OUT4 黄/黒 For Interbay and Stocker
TR_REQ IN5 18 OUT5 緑/黒  
BUSY IN6 19 OUT6 青/黒  
COMPT IN7 20 OUT7 紫/黒  
CONT IN8 21 OUT8 灰/黒  
(NC)   22 POWER 桃/黒 E84-0699 , -0999 では、NC
  POWER 23 22ピンと短絡 (桃/黒)  
  POWER COM 24 POWER COM 水/黒 光PI/O内部で、SIGNAL COMとOWER COM は短絡されています
  SIGNAL COM 25 OPEN  

SEMI E84に最適な光PI/O

8bitパラレル光データ伝送装置、DMGシリーズ及びDMSシリーズ からご選定ください。

DMGシリーズ(ロギング機能付)は、DMSシリーズの上位互換機種です。

光通信及び入出力仕様が全く同一ですので、要求仕様にて DMSシリーズが指定されている場合は、DMGシリーズも ご使用して頂けます※2。
しかし、逆にDMGシリーズの指定があった場合は、要求仕様にて光PI/Oにロギング機能を要求していますので、DMSシリーズは使用できません。
DMGシリーズの中から機種選定してください。
なお、SEMI E84に最適な光PI/Oの一覧をSEMI E84に最適な光PI/Oに掲載しております。

SEMI E84適合の検証

貴社で構築された移載システム(プログラム)がSEMI E84の要求に適合していることの検証は、
SEMI E84 Rehearsal tool ハンドヘルドテスター“HTC-001”
および
データトランスファーチェッカー“BNC-HB1”
を用いて容易に行うことができます。

ノートPCに接続して動作し、見やすく使い易いインタフェースになっています。 詳細説明やデモ機の貸出しなども行っておりますので、最寄りの当社営業窓口へお気軽にお申し付けください。

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